用于沉积的输送装置

摘要

用于薄膜材料沉积的输送装置至少具有分别接收第一、第二和第三气态材料的公共供给源的第一、第二和第三进入口。该第一、第二和第三伸长输出通道中的每一个允许与相应的第一、第二和第三入口之一气体连通。该输送装置可以由孔板形成，所述孔板叠置而界定将供应室和导向通道互连的网络，以便将气态材料中的每一种从其相应的入口传递到相应的多个伸长输出通道。该输送装置包括由护面板之间的浮雕图案形成的扩散通道。还公开了薄膜沉积的方法。最后，一般地说，公开了流动扩散器和相应的流动扩散方法。

主权项

用于将薄膜材料沉积到基板上的输送头，包括：(a)多个入口，所述入口至少包括分别用于接收第一、第二和第三气态材料的第一、第二和第三入口；和(b)输出面，所述输出面与基板相隔一定距离并包括分别与各个所述第一、第二和第三入口连接的多个基本上平行的第一、第二和第三伸长输出开口，其中所述输送头设计用来将所述第一、第二和第三气态材料同时地从所述输出面中的伸长输出开口输送到基板；和(c)将供应室和导向通道互连的网络，以便将各种所述第一、第二和第三气态材料从其相应的入口传递到其相应的伸长输出开口；其中至少一个由两个相邻板形成的气体扩散通道与所述多个基本上平行的伸长输出开口中的至少一个连接，在所述两个相邻板中，所述两个相邻板中的至少一个在所述至少一个气体扩散通道的区域中具有浮雕图案，所述第一、第二和第三气态材料中的至少一个流经所述浮雕图案。