发明名称 |
中等链长的聚硅烷及其制备方法 |
摘要 |
本发明涉及中等链长的聚硅烷,其为纯化合物或化合物的混合物,在每种情况下所述化合物具有至少一个直接的Si-Si键,所述聚硅烷的取代基仅由卤素和/或氢构成,其中等链长度n大于3并且小于50,优选大于3并且小于9,特别优选大于3并且小于7,并且其组成中的取代基∶硅的原子比例为至少1∶1。本发明还涉及其制备方法。 |
申请公布号 |
CN103080006A |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
申请号 |
CN201180031813.1 |
申请日期 |
2011.07.04 |
申请人 |
斯帕恩特私人有限公司 |
发明人 |
诺伯特·奥尼尔;克里斯蒂安·鲍赫;鲁门·德尔特舍维;斯文·霍尔;加瓦德·莫赫森尼 |
分类号 |
C01B33/08(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I |
主分类号 |
C01B33/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 |
代理人 |
刘继富 |
主权项 |
一种中等链长的聚硅烷,其为纯化合物或化合物的混合物,在每种情况下所述化合物具有至少一个直接的Si‑Si键,其取代基由卤素和/或氢构成,并且其组成具有至少1∶1的取代基∶硅的原子比例,其特征在于a)所述中等链长大于3并且小于50,优选大于3并且小于9,更优选大于3并且小于7,b)所述聚硅烷能够溶解于合适的惰性溶剂中,c)所述聚硅烷适合于作为用于硅沉积的起始物料,d)所述聚硅烷具有结合氧和氯的性质,e)所述聚硅烷在热处理时分解成更长链或更短链的产物。 |
地址 |
卢森堡 |