发明名称 中等链长的聚硅烷及其制备方法
摘要 本发明涉及中等链长的聚硅烷,其为纯化合物或化合物的混合物,在每种情况下所述化合物具有至少一个直接的Si-Si键,所述聚硅烷的取代基仅由卤素和/或氢构成,其中等链长度n大于3并且小于50,优选大于3并且小于9,特别优选大于3并且小于7,并且其组成中的取代基∶硅的原子比例为至少1∶1。本发明还涉及其制备方法。
申请公布号 CN103080006A 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201180031813.1 申请日期 2011.07.04
申请人 斯帕恩特私人有限公司 发明人 诺伯特·奥尼尔;克里斯蒂安·鲍赫;鲁门·德尔特舍维;斯文·霍尔;加瓦德·莫赫森尼
分类号 C01B33/08(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I 主分类号 C01B33/08(2006.01)I
代理机构 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人 刘继富
主权项 一种中等链长的聚硅烷,其为纯化合物或化合物的混合物,在每种情况下所述化合物具有至少一个直接的Si‑Si键,其取代基由卤素和/或氢构成,并且其组成具有至少1∶1的取代基∶硅的原子比例,其特征在于a)所述中等链长大于3并且小于50,优选大于3并且小于9,更优选大于3并且小于7,b)所述聚硅烷能够溶解于合适的惰性溶剂中,c)所述聚硅烷适合于作为用于硅沉积的起始物料,d)所述聚硅烷具有结合氧和氯的性质,e)所述聚硅烷在热处理时分解成更长链或更短链的产物。
地址 卢森堡