| 发明名称 | 复合式校准标样 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种复合式校准标样及校准方法，包括基体，所述基体具有上端面和下端面，所述下端面为安装底面，所述上端面为测试端面，所述测试端面设置有两级或两级以上的台阶，所述台阶上设置水平的台阶面，所述台阶面上设置标准格栅或标准表面粗糙度。本实用新型复合式校准标样及校准方法结构紧凑、体积小，便于归一存放、能减少标样更换和不同材料特性等引入测量不确定影响量，提高校准精度、有利于扫描电镜三维空间测量校准及功能扩展。 | ||
| 申请公布号 | CN202915895U | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201220637127.0 | 申请日期 | 2012.11.27 |
| 申请人 | 广州计量检测技术研究院 | 发明人 | 古耀达;周伦彬;郭彤;黄志斌;王海燕;蔡永洪;韦争亮;胡小唐;林建荣 |
| 分类号 | G01B15/00(2006.01)I;G01B15/04(2006.01)I;G01B15/08(2006.01)I | 主分类号 | G01B15/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 谢伟 |
| 主权项 | 一种复合式校准标样，其特征在于，包括基体，所述基体具有上端面和下端面，所述下端面为安装底面，所述上端面为测试端面，所述测试端面设置有两级或两级以上的台阶，所述台阶上设置水平的台阶面，所述台阶面上设置标准格栅或标准表面粗糙度。 | ||
| 地址 | 510000 广东省广州市萝岗区科学城尖塔山路19号 | ||