| 发明名称 | 带电粒子束用静电透镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种透镜性能相对不逊色于磁场型透镜的带电粒子束用静电透镜。利用设置在带电粒子的入射侧的多个电极(V1、V4)形成有第一电场区域(AR1)和第二电场区域(AR2)，所述第一电场区域(AR1)使带电粒子的轨道半径缩小，以便不会在中途超出作为入射时轨道半径的初始轨道半径，所述第二电场区域(AR2)向通过了该第一电场区域(AR1)的带电粒子提供朝向与所述中心轴平行方向前进的力，并且利用设置在出射侧的多个电极(V2、V3)形成有第三电场区域(AR3)，该第三电场区域(AR3)使带电粒子的轨道半径不会在中途超出所述初始轨道半径，且使带电粒子的轨道弯曲，并以比所述带电粒子从所述第二电场区域(AR2)出射时的相对于中心轴(m)的轨道角度大的角度，使所述带电粒子的轨道与中心轴(m)相交。 | ||
| 申请公布号 | CN101981650B | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN200980110865.0 | 申请日期 | 2009.03.23 |
| 申请人 | 株式会社堀场制作所 | 发明人 | 小野口彰;大堀谦一;松本浩一;粟田正吾;大桥聪史 |
| 分类号 | H01J37/12(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;武玉琴 |
| 主权项 | 一种带电粒子束用静电透镜，在该静电透镜的中心轴上并排设置有多个电极，所述多个电极分别具有使带电粒子通过的贯通孔，其特征在于，利用所述电极中的设置在带电粒子入射侧的多个电极形成有第一电场区域和第二电场区域，所述第一电场区域使带电粒子的轨道半径缩小，以便不会在中途超出作为入射时轨道半径的初始轨道半径，所述第二电场区域向通过了所述第一电场区域的带电粒子提供朝向与所述中心轴平行方向前进的力，并且利用所述电极中的设置在出射侧的多个电极形成有第三电场区域，所述第三电场区域使带电粒子的轨道半径不会在中途超出所述初始轨道半径，且使带电粒子的轨道弯曲，并以比所述带电粒子从所述第二电场区域出射时的相对于中心轴的轨道角度大的角度，使所述带电粒子的轨道与中心轴相交，通过上述设置，从而降低了透镜的球面像差系数。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||