发明名称 |
基片架磁定位系统 |
摘要 |
一种基片架磁定位系统,它包括真空箱体以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构、中心加热器、两溅射靶和多组基片架,的中心加热器安装在真空箱体的中部,中心加热器与两溅射靶之间的传动轨迹上安装多组基片架,各组基片架的底部安装在传动机构上,各组基片架的顶部安装磁悬浮定位机构。本实用新型由于通过磁场的相互吸引达到定位的目的,基片架在运行过程中与定位系统无机械接触,无摩擦,不产生污染,使用寿命长,不需要过多维护,通过该系统的安装,基片架运行稳定性得以提高,不再有碎片掉片现象,对产品的产质量都有大幅度提高。 |
申请公布号 |
CN202913053U |
申请公布日期 |
2013.05.01 |
申请号 |
CN201220096402.2 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
无锡康力电子有限公司 |
发明人 |
朱殿荣;曹俊 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
南京天华专利代理有限责任公司 32218 |
代理人 |
夏平 |
主权项 |
一种基片架磁定位系统,其特征是它包括真空箱体(1)以及位于箱体内部的传动机构、磁悬浮定位机构(3)、中心加热器(4)、两溅射靶(5)和多组基片架(6),所述的中心加热器(4)安装在真空箱体(1)的中部,两溅射靶(5)分别安装在真空箱体(1)的两侧壁上,中心加热器(4)与两溅射靶(5)之间的传动轨迹上安装多组基片架(6),各组基片架(6)的底部安装在传动机构上,各组基片架(6)的顶部安装磁悬浮定位机构(3),所述的磁悬浮定位机构(3)包括成对设置的多组磁铁,按照基片架(6)的运行轨迹在真空箱体(1)的顶部按同一极性排布多个磁铁,在对应基片架(6)的顶部按照与前述磁铁极性相反的排布多个磁铁。 |
地址 |
214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号 |