发明名称 衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室
摘要 本发明提供一种衬底支撑结构和含有上述衬底支撑结构的反应腔室,所述衬底支撑结构包括:衬底支撑盘和圆筒状支撑件,所述圆筒状支撑件竖直设置,所述衬底支撑盘支撑于所述圆筒状支撑件的顶端;所述圆筒状支撑件的顶端具有支撑件突起或支撑件凹槽,所述衬底支撑盘具有与对应所述支撑件突起或支撑件凹槽相对应的支撑盘凹槽或支撑盘突起,所述支撑件突起与支撑盘凹槽相配合或所述支撑件凹槽与支撑盘突起相配合,将所述衬底支撑盘锁紧于所述圆筒状支撑件。本发明解决了放置衬底的衬底支撑盘在转动过程中容易飞出去、转动不稳定的问题。
申请公布号 CN103074610A 申请公布日期 2013.05.01
申请号 CN201210309006.8 申请日期 2012.08.28
申请人 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 发明人 黄允文
分类号 C23C16/458(2006.01)I 主分类号 C23C16/458(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 王宏婧
主权项 一种衬底支撑结构,包括:衬底支撑盘和圆筒状支撑件,所述圆筒状支撑件竖直设置,所述衬底支撑盘支撑于所述圆筒状支撑件的顶端;其特征在于:所述圆筒状支撑件的顶端具有支撑件突起或支撑件凹槽,所述衬底支撑盘具有与对应所述支撑件突起或支撑件凹槽相对应的支撑盘凹槽或支撑盘突起,所述支撑件突起与支撑盘凹槽相配合或所述支撑件凹槽与支撑盘突起相配合,将所述衬底支撑盘锁紧于所述圆筒状支撑件。
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