发明名称 КАТОДНО-МОДУЛЯТОРНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ КОНТРОЛЯ НАНОПЕРЕМЕЩЕНИЙ
摘要 1. Катодно-модуляторное устройство, содержащее автоэмиссионные катоды, чувствительный элемент для измерения силы воздействия, закрепленный над катодами с помощью упругого подвеса и выполненного из электропроводного материала или имеющий покрытие из электропроводного материала, источник постоянного напряжения, положительный вывод которого подключен к чувствительному элементу, а отрицательный вывод к катодам, отличающееся тем, что по меньшей мере два катода расположены под различными областями чувствительного элемента, имеющего высокую механическую добротность, таким образом, что из предварительного расчета известны ожидаемые сдвиги фазы и соотношение амплитуд токового сигнала отдельных катодов, при этом каждый катод имеет отдельные цепи для измерения электрического тока, выходы которых соединены с предусилителями, которые, в свою очередь, присоединены к устройству усреднения или к медианному фильтру, выход которого соединен с дифференциальным усилителем, к которому также присоединен исходный сигнал с предусилителя и полученный разностный сигнал соединен с интегратором ошибки (соответствующего канала), выходное напряжение которого присоединено к входу управления коэффициентом усиления предусилителя (соответствующего канала), при этом в качестве выходного сигнала устройства используют выход устройства усреднения или медианного фильтра.2. Катодно-модуляторное устройство по п.1, отличающееся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде балки, к которой присоединен источник переменного электрического тока (возбуждающий сигнал), частота которого управляется внешним сигналом, а сигнал с выход
申请公布号 RU127476(U1) 申请公布日期 2013.04.27
申请号 RU20120151370U 申请日期 2012.11.30
申请人 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский физико-технический институт (государственный университет)" 发明人 Батурин Андрей Сергеевич;Кузин Артур Азатович;Морозов Сергей Александрович;Негров Дмитрий Владимирович;Спиридонов Максим Викторович
分类号 G01P15/00 主分类号 G01P15/00
代理机构 代理人
主权项
地址