| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen einer Struktur |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005025116(B4) |
申请公布日期 |
2013.04.25 |
| 申请号 |
DE20051025116 |
申请日期 |
2005.05.27 |
| 申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
KANATHARANA, JARUJIT;TEGEN, STEFAN |
| 分类号 |
H01L21/311;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/8242 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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