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发明名称 Vorrichtung zur Bearbeitung eines Siliziumssubstrats
摘要
申请公布号 DE10336328(B4) 申请公布日期 2013.04.25
申请号 DE2003136328 申请日期 2003.08.07
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SCHMIDT, JUERGEN;FISCHER, FRANK;LAERMER, FRANZ;METZGER, LARS;HABERER, DIETMAR
分类号 H01L21/3065;H01L21/00;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/67 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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