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<p>Verfahren zur Analyse einer Probe (11, 26), wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:–Bereitstellen einer Probe (11), welche aus mindestens einem Probenmaterial zusammengesetzt ist;–Identifizieren eines zu analysierenden Teils (26) der Probe (11);–Herstellen einer Öffnung (25) in dem Probenmaterial mittels eines Teilchenstrahls, so dass die Öffnung (25) an den zu analysierenden Teil (26) der Probe (11) angrenzt,–Trennen des zu analysierenden Teils (26) der Probe (11) aus dem Probenmaterial mittels des Teilchenstrahls,–Anordnen des zu analysierenden Teils (26) der Probe (11) in der Öffnung (25); sowie–Untersuchen des zu analysierenden Teils (26) der Probe (11).</p> |
