Zuführvorrichtung für reaktive Spezies und Oberflächenbehandlungseinrichtung

摘要

Schützen von Elektroentladungselektroden-Abschnitten vor einem Behandlungsgas zum Verhindern einer Oxidation der Elektroentladungselektroden-Abschnitte, um dadurch die Lebensdauer zu erhöhen. Elektroden 22–25 sind von jeweiligen Elektrodenabdeckungen 22P–25P abgedeckt, die mit Elektroentladungsöffnungen 22HL, 22HR–25HL, 25HR versehen sind (Öffnungen 22HL, 25HR sind verschlossen). Jeder von Schutzgas-Einlassports 22Q–25Q ist in einer Position vorgesehen, die sich auf einer stromaufwärtigen Seite eines jeweiligen einen von Paaren von Elektroentladungsöffnungen 22HL, 22HR–25HL, 25HR befindet und die von dem entsprechenden einen von Paaren von Elektroentladungsöffnungen 22HL, 22HR–25HL, 25HR phasenversetzt ist. Ein Schutzgas, das veranlasst worden ist, durch die Schutzgas-Einlassports 22Q–25Q einzuströmen, wird veranlasst, um den Umfang jeweiliger Elektroentladungselektroden-Abschnitte 22S–25S zu strömen und dann zu Elektroentladungsräumen auszuströmen. Da das Schutzgas den Elektroentladungselektroden-Abschnitten 22S–25S zugeführt wird, ist es möglich zu bewirken, dass die Elektroentladungselektroden-Abschnitte 22S–25S nur in geringem Maß mit dem Behandlungsgas in Kontakt kommen. Daher kann eine Oxidation jedes der Elektroentladungselektroden-Abschnitte 22S–25S begrenzt werden, wodurch die Lebensdauer erhöht werden kann.