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发明名称 Vakuumbearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Austausch einer Vakuumbearbeitungskammer einer solchen Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE112005001539(B4) 申请公布日期 2013.04.25
申请号 DE20051101539T 申请日期 2005.06.28
申请人 ULVAC, INC. 发明人 TAKAHASHI, SEIICHI;MIYAYA, TAKEHISA;LIM, SOO BOO;SATOU, MASAYUKI;TSUTSUMI, KENGO;ONO, YOHEI
分类号 H01L21/67;C23C14/56;C23C16/54 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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