发明名称 Procédé de pompage à vide et pompes à vide
摘要
申请公布号 FR1428838(A) 申请公布日期 1966.02.18
申请号 FR19650010126 申请日期 1965.03.22
申请人 VARIAN ASSOCIATES 发明人
分类号 H01J41/16 主分类号 H01J41/16
代理机构 代理人
主权项
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