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发明名称 Verfahren zur Politur der Kante einer Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE102009030294(B4) 申请公布日期 2013.04.25
申请号 DE20091030294 申请日期 2009.06.24
申请人 SILTRONIC AG 发明人 SCHWANDNER, JUERGEN
分类号 H01L21/304;B24B37/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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