离子注入昆腾设备上离子源的结构

摘要

本实用新型公开了一种离子注入昆腾设备上离子源的结构，该离子源的灯丝上安装有绝缘套管。本实用新型通过在灯丝上安装绝缘套管，定位灯丝与阴极组装，有效防止了灯丝与阴极之间短路，从而保证了离子源的正常工作，同时延长了离子源的使用寿命。

主权项

离子注入昆腾设备上离子源的结构，其特征在于，离子源部位的灯丝上安装有绝缘套管。