发明名称 有机半导体薄膜以及有机半导体单晶薄膜的制造方法
摘要 本发明的第一课题是提供有机半导体薄膜的制造方法,其在利用印刷法制造由单成分的有机分子构成的有机半导体薄膜时,可以制造在某一规定区域内包括周边部在内的膜质和膜厚都均匀、且针孔非常少的均匀的有机半导体薄膜。另外,第二课题是制作有机半导体单晶薄膜,其是由通过印刷法得到的薄膜在大致整个区域均为单一的单晶构成。通过准备第一墨水和第二墨水的工序、以及在基板上混合了从各墨水头同时或者交替地喷出第一墨水和第二墨水的工序,来制造均匀的有机半导体薄膜,所述第一墨水是将有机半导体以高浓度溶解在对该有机半导体具有高亲合力的有机溶剂中而得到的;所述第二墨水由对有机半导体具有低亲合力的有机溶剂构成。另外,通过使储存墨水的区域的一部分形成能高效地产生籽晶的形状,并以此处为起点而在储存墨水的区域的大致整个区域内使有机半导体单晶薄膜生长。
申请公布号 CN103069555A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201180039763.1 申请日期 2011.08.10
申请人 独立行政法人产业技术综合研究所 发明人 长谷川达生;峰回洋美;山田寿一;松井弘之
分类号 H01L21/368(2006.01)I;H01L51/05(2006.01)I;H01L51/40(2006.01)I 主分类号 H01L21/368(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 黄志华
主权项 一种有机半导体薄膜的制造方法,包括如下工序:准备第一墨水和第二墨水的工序、以及在基板上混合所述第一墨水和所述第二墨水的工序,所述第一墨水是将有机半导体以高浓度溶解在对所述有机半导体具有高亲合力的有机溶剂中而得到的墨水,所述第二墨水由对所述有机半导体具有低亲合力的有机溶剂构成。
地址 日本东京