发明名称 |
一种导电引线及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种导电引线的制作方法,包括:在一基板表面上形成金属层,在所述金属层表面上形成金属氧化物导电层,以具有导电引线图形的掩膜版为掩膜,采用光刻工艺和刻蚀工艺图案化金属氧化物导电层,形成金属氧化物导电保护线,图案化金属层,形成金属线,完成导电引线的制作。有了金属氧化物导电保护线的保护,大大降低了水气或碱性离子侵入金属线的几率,并且降低了金属线暴露在空气中的几率,提高了产品的抗腐蚀能力。 |
申请公布号 |
CN103064207A |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201310012091.6 |
申请日期 |
2013.01.11 |
申请人 |
信利半导体有限公司 |
发明人 |
刘伟;任思雨;李建;张毅先;胡君文;于春崎;何基强;李建华 |
分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I;G02F1/13(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
王宝筠 |
主权项 |
一种导电引线的制作方法,其特征在于,包括:在一基板表面上形成金属层;在所述金属层表面上形成金属氧化物导电层;以具有导电引线图形的掩膜版为掩膜,采用光刻工艺和刻蚀工艺图案化金属氧化物导电层,形成金属氧化物导电保护线,图案化金属层,形成金属线,完成导电引线的制作。 |
地址 |
516600 广东省汕尾市东冲路北段工业区 |