发明名称 |
镀膜装置 |
摘要 |
一种镀膜装置,其包括一个支架,多个镀膜腔体,多个独立的传送带,多个转台,以及至少一个承载盘。所述多个镀膜腔体间隔设置在所述支架上,每个镀膜腔体包括一个舱门。所述多个传送带环绕所述每个镀膜腔体设置在所述支架上并延伸至每一个镀膜腔体的舱门外。所述多个转台分别设置在每两条相互独立的传送带之间。所述至少一个承载盘承载在所述传送带上,并在所述传送带的带动下依次进入所述多个镀膜腔体对承载在承载盘上的工件镀膜。本发明镀膜装置通过铺设在镀膜腔体外围并延伸至镀膜腔体的舱门前的传送带配合转台来实现承载盘在多个镀膜腔体之间的自动转换,从而使多个镀膜腔体彼此分开设置,避免了镀膜气体的污染从而提高了镀膜的质量。 |
申请公布号 |
CN101962753B |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN200910304589.3 |
申请日期 |
2009.07.21 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
裴绍凯 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种镀膜装置,其包括一个支架,多个镀膜腔体,多个独立的传送带,多个转台,以及至少一个承载盘,所述多个镀膜腔体间隔设置在所述支架上,每个镀膜腔体包括一个舱门,所述多个传送带环绕所述每个镀膜腔体设置在所述支架上并延伸至每一个镀膜腔体的舱门外,所述多个转台分别设置在每两条相互独立的传送带之间,所述至少一个承载盘承载在所述传送带上,并在所述传送带的带动下依次进入所述多个镀膜腔体对承载在承载盘上的工件进行镀膜,所述支架的表面设置有多个内凹的轨道,所述内凹的轨道环绕所述镀膜腔体并延伸至镀膜腔体的舱门外,所述多个传送带分别铺设在支架的上方并容置在所述支架的轨道内,所述多个转台用以使承载在所述传送带上的承载盘改变轨道从而到达指定位置处。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |