| 主权项 |
一种子孔径拼接中系统误差的修正方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、利用三面四次互检方法对参考平晶进行面形的绝对检验，从而获得参考平晶在通过其中心的两个垂直方向的线轮廓数据；步骤2、对步骤1测得的线轮廓数据进行拟合，用Zernike多项式作为基底函数来构建系统误差的修正波面，选取其中的低阶项拟合出一个低阶曲面作为系统误差修正波面M0(x,y)，即：M0(x,y)=a1Z3(x,y)+a2Z4(x,y)+a3Z5(x,y)+a4Z6(x,y)+a5Z7(x,y)+a6Z8(x,y)其中，Z3(x,y),Z4(x,y),Z5(x,y),Z6(x,y),Z7(x,y),Z8(x,y)分别表示为，离焦项：Z3(x,y)=1+2(x2+y2)像散项：Z4(x,y)=x2 y2像散项：Z5(x,y)=2xy沿X轴的三级慧差项：Z6(x,y)=2x+3x(x2+y2)沿Y轴的三级慧差项：Z7(x,y)=2y+3y(x2+y2)三级球差项：Z8(x,y)=16(x2+y2)+6(x2+y2)2而a1,a2,a3,a4,a5,a6为各个多项式的系数，该系数可以利用最小二乘准则求得；步骤3、对子孔径测试波面进行系统误差预修正，即在每个子孔径测量时通过波面相减的方法，将实际测量获得的子孔径波面M(x,y)减去参考平晶的系统误差修正波面M0(x,y)，以获得参考平晶系统误差修正后的待拼接波面M(x,y)，即M(x,y)=M(x,y)‑M0(x,y)；步骤4、对系统误差修正后的待拼接波面M(x,y)进行拼接，得到被测元件的全口径面形。 |
