发明名称 SELF-ALIGNED CONTACTS TO GATES
摘要
申请公布号 EP1532679(B1) 申请公布日期 2013.04.24
申请号 EP20030793383 申请日期 2003.08.21
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 BOHR, MARK
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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