| 摘要 |
Fluorgasanlage, umfassend eine Fluorerzeugungseinheit (1), die mit einem Fluorzuführungssystem (2) mit einem Verwendungspunkt von Fluor (3) verbunden ist, und eine permanente Fluorspeichereinheit (4), die mit dem Zuführungssystem verbindbar ist, wobei die Fluorspeichereinheit mehrere Hohlkörper (5) umfasst und mindestens einer der Hohlkörper ein Innenvolumen größer gleich 50 l, vorzugsweise größer gleich 100 l, aufweist. |
