| 发明名称 | 一种锥镜检测装置及其检测方法 | ||
| 摘要 | 一种锥镜检测装置由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直，以及其检测锥镜方法。本发明实现了对各类锥镜的检测，弥补了现有技术中的空白。 | ||
| 申请公布号 | CN103063154A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201210441565.4 | 申请日期 | 2012.11.08 |
| 申请人 | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 | 发明人 | 程珂;叶青;魏向荣;施丽敏;李旭峰;査雨;顾亚平 |
| 分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种锥镜检测装置，其特征在于由斐索干涉仪、具有圆形光栅的玻璃基底组成，所述的玻璃基底的A面作为参考平面，B面用光刻法制作成圆形光栅，作为光栅面，所述玻璃基底的光栅面B与所述斐索干涉仪输出的单色平行光垂直。 | ||
| 地址 | 200433 上海市杨浦区国定路335号2号楼2401室 | ||