| 发明名称 | 吸附板 | ||
| 摘要 | 提供一种当将带肋晶片以使肋一侧朝下的方式吸附在吸附板上时，难以引起带肋晶片的错位的吸附板。所述吸附板（10）具有对于背面的外周部为环状较厚、内周部为凹部状较薄的带肋半导体晶片，用嵌入到所述凹部中的凸状部（14）表面来吸附支承的机构，并且沿着所述凸状部（14）表面的外周具有通气用缺口（18）。 | ||
| 申请公布号 | CN103069561A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201180038773.3 | 申请日期 | 2011.09.22 |
| 申请人 | 富士电机株式会社 | 发明人 | 加藤勉 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种吸附板，其特征在于：具有对于背面的外周部为环状较厚、内周部为凹部状较薄的带肋半导体晶片，用嵌入到所述凹部中的凸状部表面来吸附支承该带肋半导体晶片的机构，沿着所述凸状部表面的外周具有通气用缺口。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||