| 发明名称 |
METHODS OF FABRICATING ELECTRONIC DEVICES USING DIRECT COPPER PLATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20130041368(A) |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
| 申请号 |
KR20137007742 |
申请日期 |
2008.06.02 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
YOON HYUNGSUK ALEXANDER;REDECKER FRITZ |
| 分类号 |
C25D7/12;C25D3/38;H01L21/288 |
主分类号 |
C25D7/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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