多波长干涉仪、测量设备以及测量方法

摘要

本发明涉及多波长干涉仪、测量设备以及测量方法。该多波长干涉仪包括：分束器，被配置为将多个光束分割成基准射束和测量射束；频率偏移器，被配置为偏移基准射束和测量射束中的至少一个的频率，以便使得基准射束和测量射束的频率彼此不同；光学系统，被配置为使得测量射束入射在测量表面上并且使得从测量表面反射的测量射束与基准射束干涉以便获得干涉光；分割单元，被配置为将干涉光分割成多个光束；以及检测单元，被配置为检测通过分割单元分割成的多个光束。

主权项

一种多波长干涉仪，使用各具有不同波长的至少两个光束，所述多波长干涉仪包括：分束器，被配置为将光束分割成基准射束和测量射束；频率偏移器，被配置为偏移基准射束的频率或者测量射束的频率，或者偏移基准射束和测量射束的频率，以便使得基准射束和测量射束的频率彼此不同；光学系统，被配置为使得测量射束入射在测量表面上并且使得从测量表面反射的测量射束与基准射束干涉以便获得干涉光，基准射束和测量射束的频率通过频率偏移器而彼此不同；分割单元，被配置为将干涉光分割成多个光束；以及检测单元，被配置为对于每个波长检测通过分割单元分割成的所述多个光束。