制备纯硅的方法和系统

摘要

本发明涉及一种制备超纯硅的方法，其包括以下部分：(1)制备三氯硅烷，(2)通过第(1)部分中制备的三氯硅烷的歧化制备甲硅烷，和(3)将如此制备的甲硅烷热分解，其中为制备三氯硅烷，在第(1)部分的至少一个氯氢化过程中使硅与氯化氢反应，与此同时，在第(2)部分中使在转化过程中作为副产物形成的四氯化硅与硅和氢气反应。而且用于该方法的系统包括用于制备三氯硅烷的制备单元(1)、用于制备甲硅烷的另外的单元(2)和用于将制备的甲硅烷热分解的单元(3)，单元(1)具有至少一个氯氢化反应器、至少一个转化反应器、至少一个用于含有三氯硅烷的反应混合物的收集器和至少一个分离装置，单元(2)具有至少一个歧化反应器和至少一个分离装置，单元(3)具有至少一个用于甲硅烷的分解反应器，其中单元(2)通过至少一个回线连接到单元(1)，由此可将单元(2)中形成的四氯化硅输入到单元(1)的所述至少一个转化反应中。

主权项

一种制备高纯硅的方法，其包括以下部分：(1)制备三氯硅烷，(2)通过第(1)部分中制备的三氯硅烷的歧化制备甲硅烷，以产生含甲硅烷的反应混合物，该反应混合物含有作为副产物的四氯化硅，和(3)将如此制备的甲硅烷热分解成硅和氢气，特征在于，为在第(1)部分中制备三氯硅烷，在至少一个氯氢化过程中使硅与氯化氢反应和，与之并行，在至少一个转化过程中使在第(2)部分中作为副产物获得的四氯化硅与硅和氢气反应，以生成在各自情形下含三氯硅烷的反应混合物。