测量工件的装置和方法

摘要

一种利用安装在扫描头部上的表面感测设备来测量表面的方法和装置，所述扫描头部位于坐标定位装置的构件上。所述坐标定位装置可以操作，以在扫描头部和所述表面轮廓之间产生相对运动，并且所述扫描头部包括驱动件，以使表面感测探针围绕一个或多个轴线转动。在所述表面感测设备将要跟踪的表面上限定所需测量轮廓，以及当表面感测设备沿所述测量轮廓运动时，限定所述表面感测设备的方位的希望运动。这些数据用来推算坐标定位装置的所述构件和所述表面之间相对运动的所需路径，以使所述表面感测设备指示沿着所述测量轮廓的轨迹。

主权项

一种利用安装在扫描头部上的表面感测设备来测量表面的方法，所述扫描头部位于坐标定位装置的构件上，其中，可以操作所述坐标定位装置，以在扫描头部和表面轮廓之间产生相对运动，并且所述扫描头部包括驱动件，用于使表面感测设备围绕一个或多个轴线转动，所述方法包括以下步骤：（a）在所述表面感测设备将要跟踪的表面上限定希望的测量轮廓；（b）当所述表面感测设备沿步骤（a）中的测量轮廓运动时，限定所述表面感测设备的方位的希望运动；（c）利用在步骤（a）中限定的希望的测量轮廓和在步骤（b）中限定的表面感测设备的方位的希望运动来推算坐标定位装置的所述构件和所述表面之间的相对运动的所需路径，以使所述表面感测设备指示沿着所述测量轮廓的轨迹，其特征在于，步骤（b）中方位的运动使得所述方位相对于表面法线发生变化。