发明名称 |
用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具 |
摘要 |
本实用新型涉及镀膜装置,尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。本实用新型采取如下技术方案:包含一个以上的相邻分布的铝板,所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。所述一组以上的铝板之间距离相同。采用如上技术方案的本实用新型,具有如下有益效果:待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去,固定即稳定,保证多组导电玻璃放置的一致性,保证非晶硅薄膜厚度的均一性,同时节省操作时间,提高产品质量。 |
申请公布号 |
CN202905663U |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201220535533.6 |
申请日期 |
2012.10.19 |
申请人 |
陕西拓日新能源科技有限公司 |
发明人 |
陈五奎;雷晓全;李文江;王斌;王富军 |
分类号 |
H01J37/32(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/32(2006.01)I |
代理机构 |
北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 |
代理人 |
孟海娟 |
主权项 |
用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具,其特征在于,包含一个以上的相邻分布的铝板,所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮(8)。 |
地址 |
715200 陕西省渭南市澄城县醍醐村东拓日太阳城 |