发明名称 用源测量单元进行的低频阻抗测量
摘要 本发明涉及用源测量单元进行的低频阻抗测量。一种用于测量具有小于1pF的电容的DUT的阻抗的方法包括向所述DUT施加电压或电流信号,所述电压或电流信号包括具有小于1kHz的非零频率的AC分量;响应于所述电压或电流信号来分别地监视通过所述DUT的电流或电压信号;同步地使所述电压信号和所述电流信号数字化;以及根据所述数字化电压和电流信号来计算所述阻抗。
申请公布号 CN103063920A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201210300201.4 申请日期 2012.08.22
申请人 基思利仪器公司 发明人 G.索博列夫斯基
分类号 G01R27/02(2006.01)I 主分类号 G01R27/02(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 马红梅;李浩
主权项 一种用于测量具有小于1 pF的电容的DUT的阻抗的方法,所述方法包括:向所述DUT施加电压信号,所述电压信号包括具有小于1 kHz的非零频率的AC分量;响应于所述电压信号来监视通过所述DUT的电流信号;同步地使所述电压信号和所述电流信号数字化;以及根据所述数字化电压和电流信号来计算所述阻抗。
地址 美国俄亥俄州