发明名称 |
一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法。该方法,包括:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200-1800℃,保持10-30分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却至室温,得到所述单晶石墨烯。该石墨烯具有规则的几何形貌,如正六变形和正十二变形。该方法工艺简单,与现有半导体工业兼容。 |
申请公布号 |
CN103060907A |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201210581219.6 |
申请日期 |
2012.12.27 |
申请人 |
中国科学院化学研究所 |
发明人 |
刘云圻;陈建毅;黄丽平;薛运周;耿德超;罗庇荣;武斌;郭云龙;于贵 |
分类号 |
C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I |
主分类号 |
C30B25/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 |
代理人 |
关畅 |
主权项 |
一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法,包括如下步骤:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200‑1800℃,保持10‑60分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却,得到所述单晶石墨烯。 |
地址 |
100080 北京市海淀区中关村北一街2号 |