发明名称 一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法
摘要 本发明公开了一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法。该方法,包括:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200-1800℃,保持10-30分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却至室温,得到所述单晶石墨烯。该石墨烯具有规则的几何形貌,如正六变形和正十二变形。该方法工艺简单,与现有半导体工业兼容。
申请公布号 CN103060907A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201210581219.6 申请日期 2012.12.27
申请人 中国科学院化学研究所 发明人 刘云圻;陈建毅;黄丽平;薛运周;耿德超;罗庇荣;武斌;郭云龙;于贵
分类号 C30B25/18(2006.01)I;C30B29/02(2006.01)I 主分类号 C30B25/18(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 关畅
主权项 一种在绝缘材料上制备单晶石墨烯的方法,包括如下步骤:1)将绝缘材料在非氧化性气氛中升温至1200‑1800℃,保持10‑60分钟;2)保持所述步骤1)中的温度不变,向步骤1)反应体系中充入碳源和氢气,采用化学气相沉积法在所述步骤1)处理完毕的绝缘材料上进行反应,反应完毕关闭所述碳源,在非氧化性气氛下冷却,得到所述单晶石墨烯。
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