发明名称 | 一种单粒子效应测试装置及系统 | ||
摘要 | 本发明公开了一种单粒子效应测试装置及系统,该测试装置包括:旋转机构和与所述旋转机构相连的测试母板,所述测试母板上设置有多个测试子板,其中:每一测试子板用于安装被测器件;所述旋转机构用于获取控制请求,并根据控制请求驱动所述测试母板转动或者停止,使得每一测试子板接收加速器朝固定方向辐射的高能带电粒子。在该测试装置中,增加了测试子板的个数和被测器件的数量,减少了更换被测器件的次数,解决了现有技术中,由于需要频繁的更换被测器件而使得操作繁琐的问题,且每次更换被测器件进行抽真空操作浪费加速器的资源的问题。 | ||
申请公布号 | CN103063961A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
申请号 | CN201210590234.7 | 申请日期 | 2012.12.28 |
申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 王德坤;谢朝辉;赵明琦;刘海南;周玉梅;黑勇 |
分类号 | G01R31/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 王宝筠 |
主权项 | 一种单粒子效应测试装置,其特征在于,包括:旋转机构和与所述旋转机构相连的测试母板,所述测试母板上设置有多个测试子板,其中:每一测试子板用于安装被测器件;所述旋转机构用于获取控制请求,并根据控制请求驱动所述测试母板转动或者停止,使得每一测试子板接收加速器朝固定方向所辐射的高能带电粒子。 | ||
地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 |