全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统

摘要

本实用新型公开了全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统，包括调制器、分光器、数据采集器、计算机、控制器、参考光路和测试光路；调制器的输出端与分光器的输入端连接；数据采集器的输入端分别与参考光路的第一锁相放大器和测试光路的第二锁相放大器连接；数据采集器的输出端与计算机连接；计算机与控制器连接；控制器与样片平台上的挡板连接。该全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统，实现对膜厚精确度和稳定性的自动控制，实现对整个镀膜过程的全自动控制，并能对主要工艺参数进行记录，实现无人值守的全电脑操作控制，从而提高了工作效率和保证产品品质的稳定性和一致性。

主权项

全自动高精度光学镀膜机用光学膜厚监控系统，其特征在于：包括调制器、分光器、数据采集器、计算机、控制器、参考光路和测试光路；所述参考光路由第一光纤接收器、第一单色仪、第一光电倍增管、第一带通滤波器和第一锁相放大器从左至右依次串联；所述测试光路由第二光纤接收器、第二单色仪、第二光电倍增管、第二带通滤波器和第二锁放大器从左至右依次串联；所述调制器的输出端与分光器的输入端连接；所述分光器的输出端分别与参考光路的第一光纤接收器和样片平台连接；所述样片平台与测试光路的第二光纤接收器连接；所述数据采集器的输入端分别与参考光路的第一锁相放大器和测试光路的第二锁相放大器连接；数据采集器的输出端与计算机连接；所述计算机与控制器连接；所述控制器与样片平台上的挡板连接。