IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具

摘要

本实用新型属于IC装备真空电子束焊接领域，具体地说是一种IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，包括XY轴二维平台、立卧动力头、转动卡盘及顶尖组件，其中XY轴二维平台安装在真空电子束焊机上，所述立卧动力头及转动卡盘通过安装座安装在XY轴二维平台的XY直线工作台上，转动卡盘安装在安装座上，并通过传动装置与立卧动力头的输出端相连接；夹持在转动卡盘上的被焊接工件具有随XY轴二维平台沿X轴、Y轴往复移动以及随转动卡盘旋转三个自由度。本实用新型具有结构简单、质量轻、使用方便、成本低等优点，在提高生产效率的同时，保证了焊接质量的均匀性和稳定性。

主权项

一种IC装备真空反应腔冷却水道真空电子束焊接夹具，其特征在于：包括XY轴二维平台、立卧动力头、转动卡盘（14）及顶尖组件，其中XY轴二维平台安装在真空电子束焊机上，所述立卧动力头及转动卡盘（14）通过安装座安装在XY轴二维平台的XY直线工作台（9）上，转动卡盘（14）安装在安装座上，并通过传动装置与立卧动力头的输出端相连接；所述顶尖组件安装在XY直线工作台（9）上，与所述转动卡盘（14）相对，该顶尖组件包括顶尖压紧手轮（21）、顶尖（22）、壳体（24）、螺柱丝杠（27）、内滑套（28）及外滑套（29），其中壳体（24）安装在XY直线工作台（9）上，顶尖压紧手轮（21）转动安装在壳体（24）的一侧，所述螺柱丝杠（27）的一端与顶尖压紧手轮（21）相连，另一端螺纹连接顶尖（22），所述内滑套（28）通过轴承连接在顶尖（22）外部、并随顶尖（22）沿螺柱丝杠（27）轴向往复移动，所述外滑套（29）设在内滑套（28）外部、并通过滑块螺钉与内滑套（28）连接，由内滑套（28）带动沿螺柱丝杠（27）轴向往复移动。