发光二极管激光剥离方法

摘要

一种发光二极管激光剥离方法，其为于一转换基板上外延形成一外延层之前，对应该外延层的隔离区域，先于该转换基板上形成一高低落差结构，据此于具有该高低落差结构的该转换基板之上，外延形成该外延层，即可藉由该高低落差结构释放材料接口间的应力，因而在激光剥离该转换基板与该外延层时，即可有效降低破片机率，而提升工艺合格率。

主权项

一种发光二极管激光剥离方法，应用于一转换基板与一外延层的激光剥离，且该外延层定义有一隔离区域以隔出多个晶粒，其特征在于：在于该转换基板上外延形成该外延层之前，对应该外延层的隔离区域，先于该转换基板上形成一高低落差结构，再让该转换基板上外延形成该外延层。