| 发明名称 | 一种MEMS光学干涉平台及组装方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种MEMS光学干涉平台，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座、第二镜体、第一镜体、驱动臂以及阻挡件，其中，所述硅片基座上开设有对准槽，所述对准槽中放置有所述阻挡件；所述硅片基座的一侧通过第一组驱动臂连接有第二镜体，相邻一侧通过第二组驱动臂连接有第一镜体。将第一镜体、第二镜体与阻挡件放置在同一个硅片基座上，形成一个光学干涉平台模块，降低干涉仪的组装难度；第一镜体与第二镜体均采用体积较小的MEMS微镜，构成的干涉平台体积也会比较小，且成本低；利用半导体加工工艺，可以更加准确对齐，减小组装误差；可通过控制驱动臂的工艺参数控制MEMS动镜的移动范围和速度；该微型干涉模块可广泛用于各种光学系统。 | ||
| 申请公布号 | CN103063130A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201210427520.1 | 申请日期 | 2012.10.31 |
| 申请人 | 无锡微奥科技有限公司 | 发明人 | 陈巧;谢会开;周亮 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01P3/36(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人 | 胡彬 |
| 主权项 | 一种MEMS光学干涉平台，其特征在于，所述MEMS光学干涉平台包括硅片基座（4）、第二镜体（2）、第一镜体（1）、至少两组驱动臂（3）以及阻挡件（6），其中，所述硅片基座（4）上开设有对准槽（5），所述阻挡件（6）设置在所述对准槽（5）中；所述硅片基座（4）的一侧通过第一组驱动臂（31、32）连接第二镜体（2），相邻一侧通过第二组驱动臂（33、34）连接第一镜体（1）。 | ||
| 地址 | 214028 江苏省无锡市新区长江路16号8905室 | ||