用于磁性介质图案化的抗蚀剂强化

摘要

提供一种用于形成磁性介质衬底的方法和设备。图案化抗蚀层形成在具有磁化层的衬底上。共形保护层形成在图案化抗蚀层上，以免图案于后续处理期间降解。衬底经能量处理，其中能量物种依据形成于图案化抗蚀剂中的图案，穿透部分图案化抗蚀层和共形保护层而撞击磁化层及改变磁化层磁性。接着移除图案化抗蚀层和共形保护层而留下磁性衬底，所述磁性衬底具有形貌实质不变的磁性图案。

主权项

一种形成图案化磁性衬底的方法，所述方法包含以下步骤：在衬底的磁性活化表面上形成具有厚部与薄部的图案化抗蚀剂；在所述图案化抗蚀剂上形成稳定层；使部分的所述磁性活化表面暴露于通过所述稳定层和所述图案化抗蚀剂的所述薄部的定向能量；以及改变所述磁性活化表面经暴露的部分的磁性而形成所述图案化磁性衬底。