发明名称 |
半导体器件和用于制造半导体器件的方法 |
摘要 |
提出一种具有在衬底(1)上的、由氮化合物半导体材料制成的半导体层序列(2)的半导体器件,其中衬底(1)具有朝向半导体层序列(2)的硅表面,并且半导体层序列(2)具有有源区域(21)并且在衬底(1)和有源区域(21)之间具有由氧掺杂的AlN化合物半导体材料制成的至少一个中间层(3)。此外,提出一种用于制造半导体器件的方法。 |
申请公布号 |
CN103069583A |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201180041470.7 |
申请日期 |
2011.08.11 |
申请人 |
欧司朗光电半导体有限公司 |
发明人 |
彼得·施陶斯;菲利普·德雷克塞尔;约阿希姆·赫特功 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01)I;H01L33/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
张春水;田军锋 |
主权项 |
具有在衬底(1)上的、由氮化合物半导体材料制成的半导体层序列(2)的半导体器件,其中所述衬底(1)具有朝向所述半导体层序列(2)的硅表面,并且所述半导体层序列(2)具有有源区域(21)并且在所述衬底(1)和所述有源区域(21)之间具有由氧掺杂的AlN化合物半导体材料制成的至少一个中间层(3)。 |
地址 |
德国雷根斯堡 |