发明名称 半导体器件和用于制造半导体器件的方法
摘要 提出一种具有在衬底(1)上的、由氮化合物半导体材料制成的半导体层序列(2)的半导体器件,其中衬底(1)具有朝向半导体层序列(2)的硅表面,并且半导体层序列(2)具有有源区域(21)并且在衬底(1)和有源区域(21)之间具有由氧掺杂的AlN化合物半导体材料制成的至少一个中间层(3)。此外,提出一种用于制造半导体器件的方法。
申请公布号 CN103069583A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201180041470.7 申请日期 2011.08.11
申请人 欧司朗光电半导体有限公司 发明人 彼得·施陶斯;菲利普·德雷克塞尔;约阿希姆·赫特功
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01L33/12(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 张春水;田军锋
主权项 具有在衬底(1)上的、由氮化合物半导体材料制成的半导体层序列(2)的半导体器件,其中所述衬底(1)具有朝向所述半导体层序列(2)的硅表面,并且所述半导体层序列(2)具有有源区域(21)并且在所述衬底(1)和所述有源区域(21)之间具有由氧掺杂的AlN化合物半导体材料制成的至少一个中间层(3)。
地址 德国雷根斯堡
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