一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①清洗衬底，吹干后备用；②把事先制备好的原始、或已经功能化处理的碳纳米管放在烧杯当中，与有机溶剂混合，超声分散，然后，把分散液转移到经清洁处理的衬底的表面，使溶剂挥发，形成交错、互联的碳纳米管膜；③把步骤②得到的分散有碳纳米管膜的衬底放入抽为真空的反应器中，利用反应器生长一层氧化钒膜，所生长的氧化钒膜分散在碳纳米管的表面、以及管与管的间隙当中，退火，形成氧化钒-碳纳米管复合膜结构；④冷却至室温后，从反应器中取出；⑤根据需要，依次重复碳纳米管分散、氧化钒沉积和退火步骤，形成氧化钒-碳纳米管多层复合膜结构。

主权项

一种用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：①清洗衬底，吹干后备用；②把事先制备好的碳纳米管放在烧杯中，先采用化学处理的方式，在碳纳米管的表面引入官能团，经过过滤、洗涤和干燥步骤，获得功能化的碳纳米管，然后，把该功能化的碳纳米管放在烧杯当中，与有机溶剂相混合，超声分散，再把分散液转移到经清洁处理的衬底的表面，使溶剂挥发，形成交错、互联的碳纳米管膜；③把步骤②得到的分散有经功能化处理的碳纳米管的衬底放入抽为真空的反应器中，利用反应器生长一层氧化钒膜，所生长的氧化钒膜分散在碳纳米管的表面、以及管与管的间隙当中，退火，形成氧化钒‑碳纳米管复合膜结构；④冷却至室温后，从反应器中取出；⑤根据需要，依次重复碳纳米管分散、氧化钒沉积和退火步骤，形成氧化钒‑碳纳米管多层复合膜结构。