激光加工装置以及激光加工方法

摘要

抑制薄膜太阳能电池板的除边的加工时间的增加，同时提高加工质量。按照箭头（311a）、箭头（311b）、…、箭头(311k)的顺序重复以下处理，即将光点向光学单元对于薄膜太阳能电池板(102)前进的主扫描方向扫描后，移动到相邻一行，向主扫描方向的反方向扫描后，移动到相邻一行。然后，将光点向箭头(311k)的方向扫描后，向箭头(311l)的方向扫描，下一个加工块也同样地将光点进行扫描。重复该扫描，直到沿薄膜太阳能电池板(102)的边缘(301a)的直线形的区域的薄膜剥离完成。本发明例如可以适用于进行除边的激光加工装置。

主权项

一种激光加工装置，使用激光从衬底剥离薄膜，其特征在于，包括： 加工部，包含扫描部件，该扫描部件在第一方向的规定的范围内以及与所述第一方向正交的第二方向的规定的范围内将所述激光在所述衬底上进行扫描；以及， 移动部件，移动所述加工部和所述衬底中的至少一个，并且将所述加工部和所述衬底之间的相对位置至少向所述第一方向移动， 在从所述衬底剥离宽度比所述激光的束直径更宽且向第一方向延伸的直线状的第一区域内的薄膜时，由所述移动部件将所述加工部和所述衬底之间的相对位置向所述第一方向移动，同时由所述扫描部件向所述加工部相对于所述衬底前进的前进方向将所述激光进行扫描，从而在所述第一区域将所述激光的照射位置向所述前进方向进行扫描。