一种引线键合机基座

摘要

一种引线键合机基座结构，属于集成电路制造技术领域，这种引线键合机基座，由于物体的共振频率与物体材料的弹性模量成正比，而与材料的密度成反比，因此采用高比刚度材料做成的基座来安装XY工作台和键合头等核心部件，能够使整个引线键合设备具有较高的共振频率，也就能够提高整个键合设备的抗振动能力。有了高的抗振动能力，也就使XY工作台和键合头能够在高的加速度和高的速度下运行，提高了键合生产效率。另一个优点是省略掉传统结构左侧安装X向直线电机的一大片空间，使得整个机台的重心向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。

主权项

一种引线键合机基座，由矿物质铸件基座（3）、矿物质支腿（4）和基础钢板(5)三部分组成，其特征在于：矿物质铸件基座（3）为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面开有 X向直线电机定子安装孔（41‑44）和X向交叉滚子安装孔(70‑79)， 第二层台阶水平表面上还开有X向直线电机安装凹槽(8)，在X向直线电机安装凹槽(8)的侧面开有走线凹槽（10）；第三层台阶水平表面上开有Y向直线电机定子安装孔(51‑56)；在第二层台阶的垂直面上开有水平向的导线孔；矿物质铸件基座(3)的四角留有矿物质支腿(4)的安装孔(31‑34)，四根大螺栓通过矿物质支腿安装孔(31‑34)将矿物质铸件基座(3),矿物质支腿(4)和基础钢板(5)固定连接在一起，在矿物质支腿（4）上开有若干个走线孔。