物理气相沉积成膜设备工艺腔套件

摘要

本实用新型公开了一种物理气相沉积成膜设备工艺腔套件，包括压环、定位螺杆、陶瓷绝缘子、挡板及螺帽，其中所述定位螺杆的顶端固定在所述压环上，所述定位螺杆的底端穿过所述陶瓷绝缘子，并在所述定位螺杆的底端加装螺帽，用于限制挡板的移动，所述陶瓷绝缘子固定安装在所述挡板上。本实用新型能有效的避免压环双环与挡板之间造成尖端放电，形成高电流流过压环，击穿成膜硅片，严重时会击碎硅片的情况，提高工艺可靠性，节约成本。

主权项

一种物理气相沉积成膜设备工艺腔套件，其特征在于，包括压环、定位螺杆、陶瓷绝缘子、挡板及螺帽，其中所述定位螺杆的顶端固定在所述压环上，所述定位螺杆的底端穿过所述陶瓷绝缘子，并在所述定位螺杆的底端加装螺帽，用于限制挡板的移动，所述陶瓷绝缘子固定安装在所述挡板上。