固体摄像元件及其制造方法、摄像装置、电子设备、固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明公开了固体摄像元件及其制造方法、摄像装置、电子设备、固体摄像装置及其制造方法。所述固体摄像元件具有设置于光接收部上方的透镜。所述固体摄像元件制造方法包括如下步骤：形成构成所述透镜用的透镜基材层；在所述透镜基材层上形成中间膜，所述中间膜的热膨胀系数大于抗蚀剂的热膨胀系数；形成与所述中间膜接触的所述抗蚀剂；通过热重熔将所述抗蚀剂形成为透镜形状；并且通过蚀刻处理将所述抗蚀剂的所述透镜形状转印至所述透镜基材层，由此形成所述透镜。根据本发明，在减小所述透镜的无效区域并保持加工精度的同时，抑制固体摄像元件的特性劣化并且使得固体摄像元件易于制造。

主权项

一种固体摄像元件制造方法，所述固体摄像元件具有设置于光接收部上方的透镜，所述制造方法包括如下步骤：形成构成所述透镜用的透镜基材层；在所述透镜基材层上形成中间膜，所述中间膜的热膨胀系数大于抗蚀剂的热膨胀系数；形成与所述中间膜接触的所述抗蚀剂；通过热重熔将所述抗蚀剂形成为透镜形状；并且通过蚀刻将所述抗蚀剂的所述透镜形状转印至所述透镜基材层，由此形成所述透镜。