发明名称 碳纳米管线尖端的制备方法及场发射结构的制备方法
摘要 本发明涉及一种碳纳米管线尖端的制备方法,其包括:提供一碳纳米管线;以及仅采用扫描功率大于等于1瓦且小于10瓦,及扫描速度小于200毫米/秒的激光烧断所述碳纳米管线,形成一锥形碳纳米管线尖端。本发明还提供一种场发射结构的制备方法。
申请公布号 CN102082051B 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201010616298.0 申请日期 2010.12.30
申请人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 发明人 柳鹏;周段亮;范守善
分类号 H01J9/02(2006.01)I 主分类号 H01J9/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种碳纳米管线尖端的制备方法,其包括:提供一碳纳米管线;以及仅采用扫描功率大于等于1瓦且小于10瓦,及扫描速度小于200毫米/秒的激光烧断所述碳纳米管线,形成一锥形碳纳米管线尖端。
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室