一种用于半导体电镀设备的排液泵结构

摘要

本实用新型提供一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，包括一端具有一卡槽的动力轴；一侧壁具有多个排液孔及一连接孔的泵体；齿轮轴，其为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向齿轮；输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；以及装置于齿轮扇叶。本实用新型采用金属齿轮轴和金属螺帽设计，可以提高排液泵的稳定性和寿命；增加了喷淋件，可以避免反应液在齿轮和扇叶上结晶，保证排液泵的工作效率。

主权项

一种用于半导体电镀设备的排液泵结构，其特征在于，所述排液泵结构至少包括：动力轴，所述动力轴的一端具有一卡槽；泵体，所述泵体的一侧壁具有多个排液孔及一与所述动力轴对应的连接孔；齿轮轴，所述齿轮轴为金属空心轴，其轴端丝扣连接有一金属螺帽，该金属螺帽卡接于所述卡槽内以实现与所述动力轴的连接，其齿轮端通过所述连接孔延伸至泵体的外部，该齿轮端还设置有一连接至所述齿轮轴内部的喷淋件，所述喷淋件具有多个喷淋孔，且各该喷淋孔朝向所述齿轮端上的齿轮；输液管，包括设置于所述齿轮轴内部的主液管及与该主液管相连且与各该喷淋孔对应的多个分液管；以及扇叶，装置于所述齿轮轴的齿轮上。