一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统

摘要

本发明公开了一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法及系统，该方法包括步骤S1：将靶体所在的腔体抽成真空；S2：从进气口导入缓冲气体，使得缓冲气体覆盖收集镜并沿收集镜表面流动形成气流层；S3：从出气口导出缓冲气体；S4：待腔体内的气流稳定后，使用激光照射靶体，产生极紫外辐射的同时产生了向四周运动的等离子体碎屑；S5：保持缓冲气体持续的导入和导出，气流层使所述等离子体碎屑的运动减缓，等离子体碎屑随着气流从出气口导出。本发明适用于CO2激光锡滴等离子体碎屑的隔离；使用的设备简单、易于操作控制，可有效解决激光照射液滴靶体所产生的碎屑对光学系统的污染和破坏，对提高极紫外光刻系统的寿命有重要意义。

主权项

一种极紫外激光等离子体光源碎屑的隔离方法，其特征在于，包括下述步骤：S1：将靶体所在的腔体抽成真空；S2：从进气口导入缓冲气体，使得所述缓冲气体覆盖收集镜并沿收集镜表面流动形成气流层；S3：从出气口导出所述缓冲气体；S4：待所述腔体内的气流稳定后，使用激光照射靶体，产生极紫外辐射的同时产生了向四周运动的等离子体碎屑；S5：保持所述缓冲气体持续的导入和导出，所述气流层使所述等离子体碎屑的运动减缓，所述等离子体碎屑随着气流从所述出气口导出。