基于复Morlet小波变换的光学三维轮廓术参数的确定方法

摘要

基于复Morlet小波变换的光学三维轮廓术参数的确定方法，涉及一种复Morlet小波函数参数的取值方法。本发明从数字信号处理的角度出发，分析了作为基本信号的复Morlet小波的特性，给出了中心频率和带宽参数取值方法，即并在此基础之上，根据Heisenberg盒能量守恒定律，给出了基于复Morlet小波的三维形貌测量的尺度参数a的理论取值方法，即a＝a₀+nf_b。本发明的取值方法在一定程度上弥补了之前基于复Morlet小波的三维测量轮廓术中小波中心频率和带宽的取值的任意性，且合理的增加了尺度参数a的取值个数。通过在不同光栅周期和不同的尺度参数a的取值下进行了对比模拟，最后通过实验进一步验证了该方法的可行性。

主权项

一种基于复Morlet小波变换的光学三维轮廓术参数的确定方法，其特征在于：以复Morlet小波为基本信号，确定三维轮廓术参数带宽参数fb、中心频率fc和尺度参数a的取值为： f c / f b = 2 ; a＝a0+nfb(a0＝1，n＝1，2，…，N)，N为小波序列总数。