太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池及其制造方法，其中采用激光掺杂工艺来形成正型掺杂区与负型掺杂区，以提高制作掺杂区时的准确度。接点材料可直接利用激光形成开孔，因此，不会有金属接点的阶梯覆盖率不佳的问题。此外，太阳能电池采用梳状的第一电极以及片状的第二电极，搭配相应的第一型掺杂区以及第二型掺杂区，以充分利用半导体基板的空间，提供良好的光电转换效率。由于第二电极为片状并且可由铝等高反射物质制作，因此，有助于提局太阳能电池的光利用率。此太阳能电池的工艺简单，具有高工艺良率。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：提供一半导体基板，该半导体基板具有一第一表面以及相对于该第一表面的一第二表面；形成一第一保护层于该半导体基板的该第一表面上；进行一第一激光掺杂工艺，以形成多个第一开孔于该第一保护层内，并且形成多个第一型掺杂区于该些第一开孔对应的该半导体基板中；形成一第一电极于部分该第一保护层上，该第一电极为梳状且具有相互平行的多个分支，该第一电极填入该些第一开孔以连接到该些第一型掺杂区；进行一第二激光掺杂工艺，以形成多个第二开孔于该第一保护层内，该多个第二开孔为沟槽，并且形成多个第二型掺杂区于该第二开孔对应的该半导体基板中；形成一第二保护层于该第一保护层上，该第二保护层覆盖该第一电极的该些分支；形成一第二电极于该第二保护层上，该第二电极为片状并且覆盖该第一电极的该些分支；以及进行一激光开孔回火工艺，于该第二保护层中形成多个第三开孔，该些第三开孔对应该些第二型掺杂区，该第二电极填入该些第三开孔，以连接到该些第二型掺杂区。