发明名称 一种电解槽
摘要 本实用新型提供一种电解槽,所述电解槽至少包括一电解液净化装置,所述电解液净化装置包括用于搅拌电解槽中电解液的振荡探头以及超声波发生器;所述振荡探头设于电解槽内部;所述超声波发生器与振荡探头相连。本实用新型的电解槽通过超声波发生器使电解液中的振荡探头以一定频率发生振动,振荡探头带动电解液形成细微回流,从而使阳极表面的污染物剥离阳极金属表面进入电解液,再通过过滤将电解液中的污染物滤掉,阳极金属表面和电解液恢复洁净,电解过程得以继续。且本实用新型的电解槽结构简单,使用方便,适用于工业生产过程。
申请公布号 CN202898581U 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201220564736.8 申请日期 2012.10.30
申请人 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 发明人 何龚;杨小军
分类号 C25D17/02(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I;C25D21/18(2006.01)I;C25D21/06(2006.01)I;C25D21/10(2006.01)I 主分类号 C25D17/02(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 余明伟
主权项 一种电解槽,其特征在于:所述电解槽至少包括一电解液净化装置,所述电解液净化装置包括用于搅拌电解槽中电解液的振荡探头以及超声波发生器;所述振荡探头设于电解槽内部;所述超声波发生器与振荡探头相连。
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