| 发明名称 | 半导体设备及其加热器电源控制系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种加热器电源控制系统，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源分别相连的加热器；其中，所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器；本实用新型还公开了一种半导体设备，该半导体设备包含前述的加热器电源控制系统。本实用新型能够减少系统产生的误差，提高温度控制的准确性。 | ||
| 申请公布号 | CN202904411U | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201220562242.6 | 申请日期 | 2012.10.30 |
| 申请人 | 中晟光电设备（上海）有限公司 | 发明人 | 孙东曦;万红;赵辉 |
| 分类号 | G05F1/46(2006.01)I;G05B19/418(2006.01)I | 主分类号 | G05F1/46(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人 | 张静洁 |
| 主权项 | 一种加热器电源控制系统，其特征在于，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源分别相连的加热器；其中，所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路351号2号楼614室 | ||