| 发明名称 | 透明导电膜的制造方法以及薄膜太阳能电池的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够在短时间内制造优良的透明导电膜、使高效薄膜太阳能电池的生产效率得到提高的透明导电膜的制造方法以及薄膜太阳能电池的制造方法。在作为溅射气体种类采用Ar和H2的混合气体并且混合气体的摩尔比为H2/(Ar＋H2)＝0.01～0.43、溅射气压为2.0～15.0Pa、基板温度为300～600℃的条件下，使用以氧化锌作为主要成分的氧化物烧结体靶，在透光性基板（1）上形成透明导电膜（2）。并且，将非晶质光电转换单元（3）、背面电极（5）依次形成于透明导电膜（2）上。 | ||
| 申请公布号 | CN103069045A | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201180041008.7 | 申请日期 | 2011.08.23 |
| 申请人 | 住友金属矿山株式会社 | 发明人 | 阿部能之;曾我部健太郎;山野边康德 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 崔香丹;洪燕 |
| 主权项 | 一种透明导电膜的制造方法，其使用以氧化锌作为主要成分的氧化物烧结体靶在透光性基板上形成透明导电膜，其特征在于，在作为溅射气体种类采用Ar和H2的混合气体并且混合气体的摩尔比为H2/(Ar＋H2)＝0.01～0.43、溅射气压为2.0～15.0Pa、基板温度为300～600℃的条件下，形成透明导电膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||